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高纯气体分析系统气体连续在线分析系统(CQC) 随着电子行业的飞速发展,对大宗气体的纯度要求也越来越高,所以气体纯度的检测显得异常重要,因此一套稳定可靠的气体连续分析系统是气体供应链上必不可少的一部分。 通常系统会连续检测N2、H2、O2、Ar、He、CDA等主要气体的纯度,通过检测其中的杂质含量来保证气体的品质。一般杂质为O2、H2O、Partical、THC、CO、CO2等。 CQC会连续实时的测量气体中杂质的含量,并显示和记录相关数据。在检测到杂质含量异常的时候,能及时发出警报,并实时记录数据。从而减少客户的损失,并为后续排查提供帮助。 气体连续分析系统的组成: 低精度的IQC,一般使用于大宗气站出口,纯化器前端,要求测量进度在0.01ppm-1ppm。IQC一般由水表、氧表、机柜、记录电脑组成。 高精度的CQC,一般在纯化器后端,要求测量进度在1ppb及以下。CQC一般由水表、氧表、颗粒仪和气象色谱、机柜、记录电脑组成。 技术优势: 仪表选型、管路设计、通讯系统设计 设备选型经济型,为客户节省成本,带来价值 设备选型合规性,适用于不同国家、地区的合规性要求 针对超高压,超低温样品气的特殊设计和措施 管线设计合理性,减少机柜中管线死区,便于管线吹扫 切换型设计,实现一套分析系统分析多种样品气 分析系统和气体纯化器,气体液体储罐的联动作业 |