大宗气体主要包括氧气、氮气、氩气、工业氨气等,特种气体主要包括电子气体、高纯气体和标准气体,如高纯六氟乙烷、高纯四氟等氟碳类气体、光刻气、高纯二氧化碳等。
Copyright @ 2022 . All rights reserved.
免责声明:本站部分素材来源于网络,如有侵权,联系立删