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大宗气体有哪些?

大宗气体主要包括氧气、氮气、氩气、工业氨气等,特种气体主要包括电子气体、高纯气体和标准气体,如高纯六氟乙烷、高纯四氟等氟碳类气体、光刻气、高纯二氧化碳等。

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